2026-812
无掩膜光刻是新型数字化微纳加工技术，摒弃了传统光刻依赖物理掩模版的作业模式，依托数字信号调控光束完成图案曝光成型。传统光刻需要提前定制掩模板，工序繁琐、改版成本高，更适合大批量定型生产，难以适配小批量试制、多样化结构研发的需求。无掩膜光刻通过数字化直写成像方式，直接将设计图形投射至基材表面，大幅简化光刻工艺流程，适配现代微纳器件的快速研发与试样加工场景。该技术依托可编程光学系统运行，图形修改仅需调整计算机设计文件，无需更换硬件模板，工艺灵活度较高。可适配多种基底材料与微纳结构...
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在微电子技术中，引线键合是连接芯片与封装基座的常见工艺。随着光通信和光子集成电路的快速发展，芯片之间的光信号互连成为了新的技术挑战。光子引线键合（PhotonicWireBonding,PWB）正是为了解决这一难题而诞生的新型封装技术。它借鉴了传统电子引线键合的概念，利用具有三维自由形态的聚合物波导作为“桥梁”，跨越芯片之间的间隙，从而实现光信号在不同光子元件或芯片之间的高效传输。这项技术的核心优势在于其出色的灵活性和对高精度对准的宽容度。在传统的混合光子集成中，将不同材料（...
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三维激光直写技术作为微纳制造领域的一项前沿工艺，正逐步从实验室走向广泛的工业应用。它突破了传统光刻在结构和材料上的诸多限制，为复杂微纳器件的快速原型制造和定制化生产提供了灵活且高效的解决方案。随着微纳器件向集成化方向不断发展，这项技术的应用潜力也在逐步释放，成为支撑精密制造产业升级的重要基础装备之一。三维激光直写的核心工作原理，是利用飞秒激光的非线性效应，将能量精确聚焦于光敏材料的特定区域。由于多光子吸收仅发生在焦点附近的极小体积内，设备无需借助掩模版，就能直接写入任意复杂的...
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双光子设备依托双光子吸收的非线性光学效应，集合超快激光、精密扫描、信号采集等模块，可完成深层生物样本成像与三维微纳结构加工两类核心工作，是光学研究领域重要的实验平台。区别于常规单光子光学设备，该类设备多选用近红外飞秒脉冲激光作为激发光源，依靠焦点位置很高的光子密度触发反应，能够在减少周边区域干扰的前提下获取目标信息或者完成材料加工，近些年在多个前沿科研方向得到更多使用。随着生命科学、微纳制造领域的研究不断推进，传统光学设备在成像深度、三维加工精度上存在一定局限，双光子设备凭借...
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纳米针是针尖直径处于纳米尺度的针状微纳结构，多以阵列形式排布，依靠极小尺寸完成微观界面穿刺、物质递送与信号采集，是生物医学、材料科研领域的微型功能载体。传统注射、细胞转染手段容易损伤细胞组织，或是递送效率偏低，而纳米针针尖尺寸远小于常规微针，穿刺过程对细胞膜、活体软组织损伤轻微，可在保留细胞活性的前提下完成分子输送与样本采集，近些年在基础科研与医用转化领域得到持续研究与应用。纳米针可选用硅、二氧化硅、可降解高分子、压电陶瓷等多种基材，搭配光刻、气相生长、3D微纳打印等工艺制备...
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三维激光直写是一种无需掩模、直接利用聚焦激光束在光敏材料内部或表面进行三维微纳结构加工的先进制造技术。它通过计算机控制激光焦点在三维空间内的精确移动，诱导材料发生聚合、改性或刻蚀等物理化学变化，从而“凭空”构建出复杂的立体微结构。在微机电系统（MEMS）、集成光子学、微流控芯片以及生物医学工程等领域，三维激光直写正展现出巨大的应用潜力。与传统的二维光刻技术相比，它摆脱了掩模的限制，能够以很高的分辨率（可达亚微米甚至纳米级）实现真正的三维自由曲面加工。这种技术为复杂微结构的快速...
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双光子设备是依托双光子吸收效应研发的高精度光电科研设备，主要分为双光子显微成像系统与双光子微纳加工系统两大类型，是生命科学、材料工程、精密制造领域的核心装置。该设备利用近红外飞秒激光实现非线性光学激发，突破了传统单光子成像与加工的技术局限，可在不损伤活体样本、不破坏材料表层结构的前提下，完成深层成像与三维微纳结构加工，是微观领域精细化研究与精密制备的重要工具。传统光学设备多采用单光子激发模式，存在光损伤大、成像深度浅、背景干扰多、易出现光漂白等问题，难以适配活体动态观测、厚组...
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三维激光直写设备是一种基于激光光刻技术，在光敏材料中直接加工出三维微纳结构的精密制造仪器。与传统的掩模光刻不同，该设备无需制作物理掩模版，而是通过计算机控制的聚焦激光束在光刻胶内按照预设三维轨迹进行扫描曝光，显影后即可获得连续、光滑的二维或三维微结构。在微机电系统、微光学元件、生物芯片、微流控器件以及组织工程支架等领域，三维激光直写设备为复杂微结构的快速原型制作提供了一种较为灵活的加工手段。该技术因其无需掩模、设计修改方便、加工分辨率可达亚微米级别的特点，在科研院所和制造业中...
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