超快激光微纳加工中心的技术与应用

超快激光微纳加工中心不仅拥有纳米级3D加工能力，还配备了双波长飞秒激光输出，可加工更广泛的材料。可对玻璃、光纤、晶体内部和表面进行改性或刻蚀，也可对金属、合金、陶瓷等硬质材料进行微米级精度的处理，包括打孔、表面结构处理、选择性激光消融、改性等多种功能。

MJ-Works同样拥有高精度、超高速度的特点，并且可进行大幅面加工、全自动操控、长时稳定性、简单直观的软件操作以及适配多种材料的特点，适用于微纳光学、生物医学、半导体、光通信等行业的微纳加工领域。

主要特点：

双波长飞秒激光系统，适配多种加工材料，实现增减材加工。

高能飞秒激光脉冲，材料表面减材或内部改性+复杂的3D结构。

光学自稳定，加工面自动平整，自动聚焦和自动跟踪功能。

光斑调制功能，预留多种光斑模式。

线宽≤100nm，表面粗糙度≤10nm。

可配备自研的超高速加工模块。

大幅面、大体积加工。

激光能量稳定系统。

高精度恒温控制系统。

多焦点模式，提高加工效率。

纳米级高精度位置识别与对准。