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激光直写是什么

更新时间:2023-03-02      点击次数:892
激光直写是制作衍射光学元件的主要技术之一,它利用强度可变的激光束对基片表面的抗蚀材料实施变剂量曝光,显影后便在抗蚀层表面形成要求的浮雕轮廓。激光直写技术主要用于制作平面计算全图、掩模、微透镜、微透镜阵列、Fresnel微透镜、Fresnel波带板、连续位相浮雕的闪耀光学元件等,制作工艺己经逐渐成熟。
激光直写是利用强度可变的激光束对基片表面的抗蚀材料实施变剂量曝光,显影后在抗蚀层表面形成所要求的浮雕轮廓。激光直写系统的基本工作原理是由计算机控制高精度激光束扫描,在光刻胶上直接曝光写出所设计的任意图形,从而把设计图形直接转移到掩模上。激光直写系统的基本结构主要由He-Cd激光器、声光调制器、投影光刻物镜、CCD摄像机、显示器、照明光源、工作台、调焦装置、He-Ne激光干涉仪和控制计算机等部分构成。激光直写的基本工作流程是:用计算机产生设计的微光学元件或待制作的VLSI掩摸结构数据;将数据转换成直写系统控制数据,由计算机控制高精度激光束在光刻胶上直接扫描曝光;经显影和刻蚀将设计图形传递到基片上。
桌面级三维激光直写设备是紧凑型、桌⾯级、经济型设计,基于多光⼦聚合原理,实现纳⽶级精度三维结构加⼯。

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