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魔技纳米无掩模激光直写设备亮相了

发布时间:2022-06-30      点击次数:196
魔技纳米科技有限公司成立于2017年,是三维微纳制造领域集研发、生产、销售、服务于一体的高新技术企业。公司深入生物医疗、光电通信、新材料、微纳器件等多个产业应用领域,拥有应用于多行业场景的成熟加工工艺。可定制研发适配各产业领域生产需求的个性化设备和产品,突破生物制药、传感、光电芯片、超材料等领域从科研到工业生产的屏障,将纳米级制造精度和大范围生产结合,提供针对精密智造领域的整套专业解决方案。
MN-UV-Ultra魔技纳米无掩模激光直写设备自主创新的激光直写方式,采用非接触式数字微镜和矢量扫描加工方式相结合,可实现快速高平滑边缘加工,同时实现高精度和高速加工模式。
MN-UV-Ultra无掩模激光直写设备特点:
1.无需掩模,可实现纳米级精度的三维加工;
2.自主研发的超高速加工方式,便于工业应用;
3.拼接误差极小;
4.适用高达12英寸的基材;
5.全自动控制系统。
主要技术参数:
类型:Standard
最小线宽:0.8µm
最小线间距:1µm
边缘粗糙度:0.04µm
结构均匀性:0.08µm
对准精度(100*100mm2):0.6µm
最大加工速度:75mm2/min
最大曝光面积:100*100mm2
光源LED/Laser:405/365nm
 
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