激光直写制作光刻掩膜板绘图容易出现哪些错误

DLW-RD-Photonics是一款专为光子芯片集成领域设计的高性能激光直写设备，拥有高精度纳米级3D加工能力与高精度定位对准能力。设备配备高精度的共聚焦扫描系统和荧光探测系统，确保在光子芯片表面精确对准3D打印。Nanostudio软件配备功率补偿功能，可实现在芯片端面的高精度加工，消除聚焦遮挡区域的影响，为光子芯片集成领域的微细结构提供精准打印。