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三维激光直写纳米结构制备的关键技术

发布时间:2022-04-25      点击次数:867
  三维激光直写仪是纳米压印光刻和纳米结构制备的关键设备,它采用机械模具微复型原理来代替包含光学、化学及光化学反应机理的传统复杂光学光刻,从而进行纳米图形加工和纳米微结构制造。
  飞秒激光直写光纤 Bragg 光栅(FBG)多个领域开创全新的传感机遇,严苛的环境下对温度,应变,应力,振动,速度,加速度等多变量进行测量。与传统 FBG 解决方案完全不同,FsFBG用飞秒激光直接透过各类特种光纤涂覆层在光纤纤芯写入光纤布拉格光栅,具有非常优越的稳定性。并可根据客户要求参数进行定制。
  FBG 是制造在光纤纤芯上的周期性微结构光学滤波器,FBG 反射纤芯里的特定波长(称为Bragg波长)的传输光。当FBG 区域的温度和应力状态改变,则Bragg 波长实时相应改变。FBG 的温度测量精度可达0.1K,应变测量精度可达1 微应变。取样速率从几Hz 到几kHz。一条光纤上可以制造多达几十个FBG,各自以其Bragg 波长作为标志独立工作,构成串行传感器,即一根光纤完成信号发送,传感,信号读取,布线和维护简洁,适于空间受限的多点温度和应变测量。
  光纤Bragg光栅(FsFBG)传感器性能优势
  更稳定:石英FsFBG可长期850℃,短时生存于1000℃,远远高于常规FBG的300℃,如果是蓝宝石,耐温1700度。
  更耐用:直接透过光纤涂覆层(丙烯酸酯,聚酰亚胺,硅胶,碳,有机改性陶瓷)刻珊,无需“剥离-再涂覆”
  更灵活:无掩模板,无光敏化在掺杂/纯石英/氟化物*/蓝宝石*/多芯光纤的纤芯或者包层任意位置,刻制Bragg波长大于800nm,反射率0.01%-99%的FBG及超结构-,啁啾-,反相FBG*.
  更先进:飞秒激光刻制的栅点折射率调制极大,栅区可短至毫米,实现点传感,可能解决温度-应变交叉敏感。
  应用在高氢浓度,高湿度环境 (无氢暗化和氢腐蚀现象)
  FsFBG及其阵列性价比远优于任何常规FBG,一栅起订,裸纤到系统一站解决
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